在半導體檢測領域,燈箱搭配光纖的照明方式具有高均勻、高亮度的特點,這種方式易于得到清晰準確的檢測圖像,從而被行業廣泛應用。
此類設備的視覺檢測部分,硬件由相機、鏡頭、光源組合而成。其中鏡頭最復雜,往往由一套模組搭配而成,鏡頭的倍數大,精度非常高,且可能搭配棱鏡轉向裝置,結構復雜。經過一系列組合,其結構往往存在通光性差的缺點,常規光源亮度難以滿足檢測要求。
為了滿足檢測精度、速度的要求,需要搭配亮度極高的光源。早期常用鹵素燈照明,鹵素燈亮度較高,光譜較全且連續,具有一定的優勢。但鹵素燈同樣存在壽命短、能耗高、發熱量大等缺點,維護成本很高,已不能滿足不斷變化的市場與現代節能環保的要求。
樂視科技新款LED光纖光源可替代傳統鹵素光源,LED光纖光源壽命長(可達6萬小時),亮度可達2000萬Lx,環保(符合RoHS標準),均勻性好(無光暈,無亮斑及暗區);是一款品質精良的光纖光源,使用壽命為進口鹵素燈光源的20倍以上,功耗僅為鹵素光源1/10,可大幅降低了產品的維護成本。
半導體產品檢測要求各有不同,針對不同產品與檢測特征,經常需要替換不同波段光源,或者配多種濾鏡組合使用,過濾掉不需要的特征。然而這種方式過于繁瑣,且更換時容易觸碰到機構其它部位影響精度。
為滿足多波段檢測要求,我司以單色光纖光源為基礎,開發出可多色切換的光纖光源,即我司的三色光纖光源。只需一臺即可實現三色RGB發光,三色可獨立發光或混合發光,也可自由控制變化各種波段顏色,實現多光譜檢測。可有效的簡化光源部分結構,節省機構空間。
以下為我司三色光纖光源使用案例:
案例1:晶圓孔洞毛刺檢測
晶片加工后,表面可能會存在毛刺與殘渣在表面影響后續工藝。檢測此類較小的孔洞,需配合高倍鏡頭才能看到細小的毛刺,再經過棱鏡模組鏡頭后通光會減弱很多,使用高亮光纖光源配合照射,亮度滿足,毛刺對比明顯。
案例2:晶圓或玻璃電路檢測
此類檢測產品特征非常小,需要鏡頭放大倍數小視野成像。通常對光源的亮度要求特別高,而傳統點光源亮度不夠,使用LED光纖光源亮度滿足,光斑均勻。
案例3:LED發光芯片線路檢測
因產品背景有各種色彩,采用單色光源不能滿足產品多樣性檢測;采用三色光纖光源,可根據產品的變化調整不同波段顏色的光照射。
光纖光源在半導體行業應用廣泛,其亮度高,壽命長,功耗低,大幅降低了產品的維護成本。三色光纖光源可實現一個光源應用多種產品,提升產品檢測的兼容性,簡化視覺的硬件部分。我司光纖光源品類齊全,涵蓋365~1550nm波長范圍,歡迎廣大客戶咨詢試樣。
樂視科技自2011年成立以來,一直專注于機器視覺光源的研發與制造,現已成為中國產品種類齊全、品質優秀、性價比高的機器視覺光源制造商。我們一直恪守“工匠精神”的經營理念,數十年如一日地專注于機器視覺光源研發,不斷提高產品的生產效率,為客戶提供有價值的產品。